GB 50685-2011 电子工业纯水系统设计规范 （完整版）
1 总 则
1.0.1 为确保电子工业纯水系统出水满足电子产品生产工艺要求，确保电子工业纯水系统的设计做到技术先进、安全适用、经济合理、操作方便，制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业纯水系统的工程设计。
1.0.3 电子工业纯水系统设计应贯彻执行国家的技术经济政策，合理选择水源，节约能源，节约用水，节约用地，保护环境，安全卫生，提高经济效益。
1.0.4 电子工业纯水系统设计应根据主体工程建设规划、生产特点等综合确定，并应经技术经济比较，择优确定设计方案。当主体工程为分期建设时，纯水系统应按最终容量(规模)统一规划、合理布局、分期实施。
1.0.5 电子工业纯水系统的设计应为施工安装、维护管理、检修、检(监)测和安全运行创造必要的条件。
1.0.6 电子工业纯水系统的改建、扩建设计，应合理利用、改造原有设施。
1.0.7 纯水回收和节水设施宜与纯水制备系统统筹规划，并宜同时设计、同时施工、同时投运。
1.0.8 纯水系统排放的废水，应达到国家和地方排放标准后再排放。
1.0.9 电子工业纯水系统的工程设计，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2 术 语
2.0.1 电子工业纯水 pure water for electronic industry
电子工业生产所需的纯化水的通称，根据生产需要的水质去除生产所不希望保留的各种离子以及其他杂质的水。
2.0.2 电子工业纯水系统 pure water system for electronic industry
制取和配送用于电子工业生产纯水的系统，通常包括纯水制备、纯水的输送和分配、纯水的回收和处理的系统。
2.0.3 软化水 soft water
除掉部分或全部钙、镁离子等后的水。
2.0.4 淤塞指数(SDI) silt density index
保证反渗透正常运行的进水水质重要指标，它通过被测水样对0. 45μm滤膜的淤塞程度间接表征造成反渗透膜面堵塞的水中微量悬浮物、胶体的含量，又称污染指数FI。
2.0.5 电阻率 resistivity
度量水溶液阻止电流通过的能力，等于在一定温度下，一对截面积为1cm2的电极在1cm距离间的电阻值，其单位为Ω·cm或MΩ·cm。
2.0.6 电导率 conductivity
度量水溶液导电的能力，等于电阻率的倒数，其单位为μs/cm或s/cm。
2.0.7 总有机碳(TOC) total organic carbon
水中溶解性和悬浮性有机物中碳的总量，反映水中有机物含量的指标。
2.0.8微滤(MF) microfiltration
通常指在外压作用下，利用筛网状过滤介质膜的“筛分”作用进行分离的膜分离技术。
2.0.9 超滤(UF) ultrafiltration
通常指在外压作用下，利用非对称性膜去除水中亚微米悬浮物的膜分离技术。超滤能截留分子量范围为几百至几百万的溶质和微粒，多为大分子有机物和胶体。
2.0.10 反渗透(RO) reverse osmosis
在外加压力作用下，利用一种半透性薄膜使水分子和其他一些物质选择性透过，从而将绝大部分悬浮物和绝大部分溶解固形物(盐)截留去除的膜分离技术。
2.0.11 电脱盐(EDI) electrodeionization
一种利用装填阳、阴混合离子交换树脂或离子交换无纺布，在直流电场作用下连续去除水中离子而不需要专门再生的除盐装置的统称。
2.0.12 紫外线杀菌 UV sterilization
通过波长254nm的紫外线照射杀灭水中的活菌为紫外线杀菌装置。
2.0.13 紫外线除有机碳 UV-TOC Removal
通过波长185nm的紫外线照射分解纯水中的微量TOC为紫外线除TOC装置。
2.0.14 膜脱气装置(MDG) membrane degasifier
利用膜分离技术降低水中挥发性溶解物质的装置，在电子工业纯水系统中主要是脱除纯水中的溶解氧。
2.0.15 供水环路 distribution loop
为保证电子工业最终使用点的纯水水质和水压而采用的有附加循环水量的不间断供水方式，最终使用点用水取自从终端过滤器到纯水水箱之间的闭合供水环路。供水环路一般由纯水精处理系统和供、回水管路共同组成。
2.0.16 背压调节阀组 back pressure regulation unit
设于纯水回水管路末端，通过调节阀通径大小的变化来维持、调节纯水供回水管路压力的调节阀组。
3 纯水制备工艺
4 纯水输送和分配
5 纯水回收和节水
6 纯水站房
7 药品贮存、计量和输送
8 控制及仪表
附录A 水质全分析报告
附录A 水质全分析报告
注：1当水源用于反渗透系统处理系统时，还应化验水中Ba2+、Sr2+离子含量。
2当水源位于高氟、高锰地区时应化验水中F-、Mn2+离子的含量。
3当水源为中水、再生水等时，应根据水源来水构成情况化验水中生化耗氧量（BOD5）、化学耗氧量（CODcr）、氨氮、总有机碳、总磷、细菌总数、游离氯等含量。
4表中分析项目可根据工程情况酌情增减。
附录B 离子交换器设计参数
B.0.1 顺流再生式离子交换器的设计宜符合表B. 0. 1的规定。
注：1运行滤速上限为短时最大值，对于强酸阳离子交换器和碱阴离子交换器，当进水水质较好或采用自动控制时，运行滤速可按30m/h计算。
2硫酸分步再生时的浓度，酸量的分配和再生流速，可根据原水中钙离子含量占总离子含量比例的不同，计算或试验确定。当采用两步再生时，第一步浓度（m/m）0.8%~1%，再生剂用量不应超过总量的40%，流速7m/h~10m/h；第二步浓度2%~3%，再生剂用量总量的60%。流速5M/h~7m/h。采用第三步再生时，第一步浓度0.8%~1%，流速8m/h~10m/h；第二步浓度2%~4%，流速5m/h~7m/h；第三步浓度小于4%~6%。流速4m/h~^m/h，第一步用酸量为总用酸量的1/3
B.0.2 逆流再生式离子交换器的设计宜符合表B. 0. 2的规定。
注：1大反洗的间隔时间与进水浊度、周期制水量等因素有关，宜为10d~20d进行一次，大反洗后可根据具体情况增加再生剂量50%~100%。
2顶压空气量以上部空间体积计算，宜为0.2m3~0.3m3；压缩空气应有稳压装置。
3应避免再生液将空气带入离子交换器。
4再生、置换（逆洗）应用水质较好的水，如阳离子交换器用除盐水、氢型水或软化水，阴离子交换器用除盐水。
5进再生液时间不宜过短，宜达到30min，如时间过短，可降低再生液流速或适当增加再生剂量。
B. 0. 3 浮动床离子交换器的设计宜符合表B. 0. 3的规定。
注：1最低滤速，阳离子交换器大于10m/h，阴离子交换器大于7m/h;树脂输送管内流速为1m/s~2m/s.
2硫酸分步再生技术条件可按本规范表B.0.1的要求确定。
3反洗周期与进水浊度、周期制水量等因素有关，反洗在清洗罐中进行，每次反洗后可根据具体情况增加再生剂量50%~100%。
4进再生液时间不宜过短，宜达到30min，如时间过短，可降低再生液流速或适当增加再生剂量。
B. 0. 4 双室床、双室浮动床离子交换器的设计宜符合表B. 0. 4的规定。
注：1最低滤速，阳离子交换器大于10m/h，阴离子交换器大于7m/h;树脂输送管内流速为1m/s~2m/s.
2硫酸分步再生技术条件可按本规范表B.0.1的要求确定。
3反洗周期与进水浊度、周期制水量等因素有关，反洗在清洗罐中进行，每次反洗后可根据具体情况增加再生剂量50%~100%。
4进再生液时间不宜过短，宜达到30min，如时间过短，可降低再生液流速或适当增加再生剂量。
