GB/T 38867-2020.Silicon tetrachloride for electronic industry.

1范围

GB/T 38867规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。

GB/T 38867适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB 190危险货物包装标志

GB/T 602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T 3723工 业用化学产品采样安全通则

GB/T 4842氩

GB/T 5099钢质无缝气瓶.

GB/T 6040红外光谱分析方法通则

GB/T 6680液体化工产品采样通则

GB/T 7144气瓶颜 色标志

GB/T 11446.1-2013电 子级水

GB 15258化学品安全标签编写规定

GB/T 16804气瓶警示标签

GB/T 28726气体分析 氦离子化气相 色谱法

GB/T 32566不 锈钢焊接气瓶

GB/T 34972电 子工业用气体中金属含量的测定电感耦合 等离子体质谱法

TSG R0006气瓶安全技术监察规程

危险化学品安全管理条例(2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布,2011年2月16日国务院第144次常务会议修订通过)

特种设备安全监察条例(2009版,中华人民共和国国务院令第549号)

3技术要求

四氯化硅的技术要求应符合表1的规定,光纤用四氯化硅还应增加相对透过率的要求,相对透过率的要求应符合表2的规定。

4检验规则

4.1抽样和判定

四氯化硅产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合第3章技术要求时，则判该产品不合格。

4.2 采样

4.2.1四 氯化硅采样安全应符合GB/T 6680、GB/T 3723中的相关规定。

4.2.2测定四氯化硅中的杂质含量时,应液 相取样,取样方法参见附录A。

4.3 尾气处理

测定四氯化硅中的杂质含量时,应有四氯化硅尾气处理措施,以防止四氯化硅对环境的污染。

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