GB/T 38616-2020.Terminology for nano positioning and scanning stage.

1范围

GB/T 38616界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。

GB/T 38616适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

2通用术语

2.1

压电陶瓷驱动器 piezo actuator

利用纵向压电效应将电能转化为机械能的陶瓷元件。

2.2

柔性铰链机构 flexure hinge mechanism

利用材料弹性形变产生位移的一种特殊运动副,具有无机械摩擦、运动灵敏度高、位移分辨力高等特点,常用于平台传动导向机构。

注:根据横截面切口形状可以将柔性铰链分为:直角型、椭圆形、过渡圆角型以及正圆形等,如图1所示。

2.3

纳米定位与扫描平台 nano positioning and scanning stage

基于压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构的具有纳米量级定位和扫描功能的平台。

2.4

平台材料 stage material

用于制造平台主体机械结构的物质。

2.5

平台尺寸 stage size

表征平台外部轮廓的几何量。

注:通常以毫米(mm)为单位。

2.6

平台运动维度 stage degree of freedom

独立的平台运动空间坐标方向的数目。

注:可分为一维、二维....六维平台。

2.7

速度稳定性 speed stability

扫描过程中平台保持恒定速度的能力。

2.8

负载能力 allowable load

正常工作情况下,平台载物面中心处允许负载的最大载荷。

注:通常以克(g)为单位。

2.9

平台稳定性 stage stability

平台运行中位置与位移精度的稳定性。

2.10

有效带宽 effective bandwidth

输出信号幅值衰减到输人信号幅值3 dB时对应的频率。

注:又称一3dB带宽。