GB/T 39157-2020.Classification and definition of the technology readiness levels for targets.

1范围

GB/T 39157规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。

GB/T 39157适用于靶材技术成熟度评价。

2术 语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

2.1

靶材 target

在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。

2.2

技术成熟度 technology readiness

技术满足预期靶材应用目标的程度。

2.3

技术成熟度等级 technology readiness levels

用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度。

注:改写GB/T 37264-2018,定义2.2。

2.4

技术参数 technical parameter

针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。

注:一般是指设计或生产时做出的性能测试报告。

2.5

靶材样品 target samples

在实验室阶段,根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验.工艺性能的实物,具备了靶材的部分特性。

注:改写GB/T 37264-2018,定义2.3.

2.6

靶材试制品 target developed products

在靶材工程化阶段,考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下,对靶材关键性能和功能进行测试,通过小批量或小规模制备的实物。

注:改写GB/T 37264-2018,定义2.4。

2.7

实验室环境 laboratory environments

实验室的检测和校准设施以及环境条件,用于验证技术原理和使用功能。

2.8

模拟环境 simulation environments

模拟真实使用环境,用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能。

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