年产50万片功率半导体芯片项目主要原材料及物料平衡分析
[环境影响评价报告 - 资料分享]
发表于：2025-07-30 12:00:11
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前言
本文详细描述了功率半导体芯片项目的主要原材料、辅料及其物料平衡表，包括各类原材料的使用量、最大存储量及物料平衡分析。
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1 主要原材料及辅料
本项目主要原辅料消耗情况见下表。
| 序号 | 原辅料名称 | 包装 | 含量/规格 | 形态 | 年耗量 | 最大储量① | 存放位置 | 用途 |
|---|
| 1 | 半导体硅晶片 | 500片/盒 | 4/5英寸 | 固 | 50万片 | 10万片 | 原料仓库 | 原材料 |
| 2 | 乙基纤维素 | 500g/瓶 | 浓度97% | 固 | 23KG | 10KG | 化学品仓库 | 玻璃钝化 |
| 3 | 丁基卡必醇 | 450ml/瓶 | 浓度98% | 液 | 115L | 31.5L | 化学品仓库 | 玻璃钝化 |
| 4 | 负胶显影液 | 4L/瓶 | 有机混合物 | 液 | 2769L | 320L | 化学品仓库 | 光刻 |
| 5 | 负胶漂洗液 | 4L/瓶 | 有机溶剂，浓度99% | 液 | 2308L | 320L | 化学品仓库 | 光刻 |
| 6 | 丙酮 | 4L/瓶 | 浓度99.5% | 液 | 1385L | 320L | 化学品仓库 | 清洗 |
| 7 | 二甲苯 | 4L/瓶 | 浓度96% | 液 | 462L | 320L | 化学品仓库 | 擦拭设备 |
| 8 | 光刻胶 | 4GL/瓶 | 二甲苯31.8%，乙苯41.9% | 液 | 185GL | 160L | 化学品仓库 | 光刻 |
| 9 | 玻璃粉 | 2.5kg/瓶 | -- | 固 | 692KG | 25KG | 化学品仓库 | 玻璃钝化 |
| 10 | 冰乙酸 | 4L/瓶 | 浓度98% | 液 | 462L | 320L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 11 | 氟化铵腐蚀液 | 4L/瓶 | 浓度100% | 液 | 385L | 320L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 12 | 9:9:12:4 混合酸 | 1.83T/桶 | 硝酸70%，氢氟酸49%，硫酸，磷酸 | 液 | 58T | 3.6T | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 13 | 三氧化二硼 | 500g/瓶 | -- | 固 | 23KG | 3KG | 化学品仓库 | 扩散 |
| 14 | 18:1:1 混合酸 | 4L/瓶 | 氢氟酸49%，硝酸70%，冰乙酸 | 液 | 3846L | 320L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 15 | 盐酸 | 4L/瓶 | 浓度36% | 液 | 9231L | 320L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 16 | 硫酸 | 4L/瓶 | 浓度98% | 液 | 21538L | 720L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 17 | 双氧水 | 4L/瓶 | 浓度35% | 液 | 11538L | 480L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 18 | 氢氟酸 | 4L/瓶 | 浓度49% | 液 | 9231L | 320L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 19 | 硝酸 | 4L/瓶 | 浓度70% | 液 | 6154L | 320L | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 20 | 绿碳化硅 | 25kg/袋 | -- | 固 | 11538KG | 500KG | 原料仓库 | 吹砂 |
| 21 | 纸源 | 500片/盒 | 磷、硼 | 固 | 307692片 | 10000片 | 原料仓库 | 扩散 |
| 22 | 异丙醇 | 15kg/瓶 | 浓度99.8% | 液 | 9231KG | 300KG | 化学品仓库 | 清洗 |
| 23 | 液氧 | 0.5m³/瓶 | 浓度99.99% | 液 | 23m³ | 3m³ | 指定区 | 扩散/钝化 |
| 24 | 液氮 | 30m³/罐 | 浓度99.99% | 液 | 231m³ | 30m³ | 指定区 | 扩散/钝化 |
| 25 | 乙二醇乙醚 | 4L/瓶 | 浓度99% | 液 | 254L | 80L | 化学品仓库 | 涂硼 |
| 26 | 哈磨粉 | 5LB/瓶 | 纯碱、三聚磷酸钠 | 固 | 769LB | 100LB | 化学品仓库 | 清洗 |
| 27 | 氯铂酸 | 1g/瓶 | 37% | 固 | 1385g | 100g | 化学品仓库 | 铂扩散 |
| 28 | 硝酸铝 | 500g/瓶 | / | 固 | 3846g | 5000g | 化学品仓库 | 硼扩散 |
| 29 | 氨水 | 4L/瓶 | 26% | 液 | 1538L | 320L | 化学品仓库 | 清洗 |
| 30 | 铝源 | 500g/瓶 | 99.999% | 固 | 16154g | 5000g | 原料仓库 | 蒸发 |
| 31 | 钛源 | 500g/瓶 | 99.995% | 固 | 1154g | 5000g | 原料仓库 | 蒸发 |
| 32 | 银源 | 500g/瓶 | 99.99% | 固 | 8462g | 5000g | 原料仓库 | 蒸发 |
| 33 | 无水乙醇 | 4L/瓶 | / | 液 | 77L | 20L | 化学品仓库 | 清洁 |
2 物料平衡表
本项目功率半导体器件生产工艺中用到多种含氯、氟、磷等原料，以下是相关元素的平衡分析。
2.1 氯元素平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入氯 | 产品含氯 | -- | 0.001 | 外售 | -- |
| 3.879 | 废气中含氯 | 0.008 | 大气 | -- |
| -- | 废水中含氯 | 0.085 | 污水处理站 | -- |
| -- | 固体废物中含氯 | 3.785 | 委托资质单位处置 | -- |
2.2 氟元素平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入氟 | 废气中含氟 | 0.005 | 大气 | -- |
| 13.146 | 废水中含氟 | 0.156 | 污水处理站 | -- |
| -- | 固体废物中含氟 | 12.985 | 委托资质单位处置 | -- |
2.3 磷元素平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入磷 | 废气中含磷 | 0 | -- | -- |
| （存在于混合酸中） | 废水中含磷 | 0 | 污水处理站 | -- |
| 微量 | 固体废物中含磷 | 微量 | 委托资质单位处置 | -- |
2.4 VOCs 平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入VOCs | 废气中含VOCs | 0.623 | 大气 | -- |
| 16.540 | 废水中含VOCs | 0.947 | 污水处理站 | -- |
| -- | 固体废物中含VOCs | 14.969 | 委托资质单位处置 | -- |
2.5 打线类SF 芯片物料平衡分析
2.5.1 氯元素平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入氯 | 产品含氯 | 0.0002 | 外售 | -- |
| 1.164 | 废气中含氯 | 0.002 | 大气 | -- |
| -- | 废水中含氯 | 0.026 | 污水处理站 | -- |
| -- | 固体废物中含氯 | 1.136 | 委托资质单位处置 | -- |
2.5.2 氟元素平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入氟 | 废气中含氟 | 0.001 | 大气 | -- |
| 3.944 | 废水中含氟 | 0.047 | 污水处理站 | -- |
| -- | 固体废物中含氟 | 3.895 | 委托资质单位处置 | -- |
2.5.3 磷元素平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入磷 | 废气中含磷 | 0 | -- | -- |
| （存在于混合酸中） | 废水中含磷 | 0 | 污水处理站 | -- |
| 微量 | 固体废物中含磷 | 微量 | 委托资质单位处置 | -- |
2.5.4 VOCs 平衡分析
| 投入 | 产出 | 物料名称 | t/a | 物料名称 | t/a | 去向 |
|---|
| 原料带入VOCs | 废气中含VOCs | 0.187 | 大气 | -- |
| 4.962 | 废水中含VOCs | 0.284 | 污水处理站 | -- |
| -- | 固体废物中含VOCs | 4.491 | 委托资质单位处置 | -- |
