年产50万片功率半导体芯片项目工程特性表
[环境影响评价报告 - 资料分享]
发表于：2025-08-01 11:07:06
收藏
前言
本文详细列出了功率半导体芯片项目的工程特性表，包括项目基本情况、工程分析、主要原辅材料及能源消耗等内容。
详情
1. 项目基本情况
| 建设项目名称 | 功率半导体芯片项目 |
|---|---|
| 项目代码 | 2403-421024-04-05-431417 |
| 建设单位联系人 | 王总 |
| 联系方式 | 13814588866 |
| 建设地点 | 湖北省荆州市江陵县郝穴镇江陵大道118号 |
| 地理坐标 | (112度 26分 24.605秒，30度 2分 35.175秒) |
| 国民经济行业类别 | C3972半导体分立器件制造 |
| 建设项目行业类别 | 三十六、计算机、通讯和其他电子设备制造业39-80电子器件制造397-使用有机溶剂的；有酸洗的 |
| 建设性质 | 扩建 |
| 项目审批（核准/备案）部门 | 江陵县发展和改革局 |
| 项目审批（核准/备案）文号 | 2403-421024-04-05-431417 |
| 总投资（万元） | 10000 |
| 环保投资（万元） | 110 |
| 环保投资占比（%） | 1.10 |
| 施工工期 | 3个月 |
| 是否开工建设 | 否 |
| 用地（用海）面积（m²） | 0 |
2. 工程分析
2.1 总体工程情况
项目扩建功率半导体芯片生产线，利用现有厂房空置场地进行建设，不涉及新增用地。
2.2 主要生产设备
| 区域名称 | 设备名称 | 型号 | 数量（台/套） | 用途 |
|---|---|---|---|---|
| 清洗区 | 沟槽腐蚀机TVS | NTNY-CW17-09 | 1 | 腐蚀清洗 |
| 清洗区 | 沟槽腐蚀机GPP | NTNY-CW17-09 | 1 | 腐蚀清洗 |
| 清洗区 | 清洗机GPP | YLWET-07 | 1 | 清洗 |
| 清洗区 | 去胶机A | -- | 1 | 清洗 |
| 清洗区 | 去胶机B | -- | 1 | 清洗 |
| 清洗区 | 焊接面蚀刻机 | NTNY-CW17-09 | 2 | 腐蚀清洗 |
| 清洗区 | 清洗机TVS A | -- | 1 | 清洗 |
| 清洗区 | GPP 炉管清洗机 | -- | 1 | 清洗 |
| 清洗区 | 清洗机TVS B | -- | 1 | 清洗 |
| 清洗区 | 表面蚀刻机 | JIS-ET-1000 | 1 | 腐蚀清洗 |
| 清洗区 | 涂硼台 | -- | 2 | 涂硼 |
| 清洗区 | 烘箱/小 | TS-881-015 | 4 | 烘烤 |
| 清洗区 | 涂铂台 | -- | 2 | 涂铂 |
| 扩散区 | 扩散清洗机 | -- | 1 | 腐蚀清洗 |
| 扩散区 | 扩散炉管清洗机 | -- | 1 | 清洗 |
| 扩散区 | 铂后清洗机 | -- | 1 | 腐蚀清洗 |
| 扩散区 | 分割清洗机 | -- | 1 | 清洗 |
| 扩散区 | 舟档片清洗机 | -- | 1 | 清洗 |
| 扩散区 | 烘箱/大 | TS-881-015 | 1 | 烘烤 |
| 光刻区 | 涂胶机 | DDT88JA3 | 3 | 涂胶 |
| 光刻区 | 曝光机 | BG403 | 5 | 曝光 |
| 光刻区 | 黄光烘箱 | PHH-125D | 3 | 烘烤 |
| 光刻区 | 自动曝光机 | -- | 1 | 曝光 |
| 光刻区 | 显影机 | -- | 1 | 漂洗 |
| 扩散区 | 涂玻璃台 | -- | 2 | 刮玻璃 |
| 扩散区 | 扩散炉 | HDC-4380AH/4390A | 18 | 扩散 |
| 测试区 | 探针台 | PT-501B/506B | 21 | 测试 |
| 划片区 | 激光划片机 | TH-4212/5212 | 11 | 划片 |
| 吹砂区 | 吹砂机 | -- | 3 | 吹砂 |
| 蒸发区 | 蒸发台 | ESZ-R | 2 | 表面蒸发 |
2.3 原辅材料及能源消耗
| 序号 | 原辅料名称 | 包装 | 含量/规格 | 形态 | 年耗量 | 单位 | 最大储量① | 存放位置 | 用途 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 功率半导体器件 | 500片/盒 | 4/5英寸 | 固 | 50万 | 片 | 10万 | 原料仓库 | 原材料 |
| 2 | 乙基纤维素 | 500g/瓶 | 浓度97% | 固 | 23 | KG | 10 | 化学品仓库 | 玻璃钝化 |
| 3 | 丁基卡必醇 | 450ml/瓶 | 浓度98% | 液 | 115 | L | 31.5 | 化学品仓库 | 玻璃钝化 |
| 4 | 9:9:12:4 混合酸 | 1.83T/桶 | 硝酸70%，氢氟酸49%，硫酸，磷酸。 | 液 | 58 | T | 3.6 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 5 | 三氧化二硼 | 500g/瓶 | -- | 固 | 23 | KG | 3 | 化学品仓库 | 扩散 |
| 6 | 18:1:1 混合酸 | 4L/瓶 | 氢氟酸49%，硝酸70%，冰乙酸 | 液 | 3846 | L | 320 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 7 | 盐酸 | 4L/瓶 | 浓度36% | 液 | 9231 | L | 320 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 8 | 硫酸 | 4L/瓶 | 浓度98% | 液 | 21538 | L | 720 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 9 | 双氧水 | 4L/瓶 | 浓度35% | 液 | 11538 | L | 480 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 10 | 氢氟酸 | 4L/瓶 | 浓度49% | 液 | 9231 | L | 320 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 11 | 硝酸 | 4L/瓶 | 浓度70% | 液 | 6154 | L | 320 | 化学品仓库 | 腐蚀清洗 |
| 12 | 绿碳化硅 | 25kg/袋 | -- | 固 | 11538 | KG | 500 | 原料仓库 | 吹砂 |
| 13 | 纸源 | 500片/盒 | 磷、硼 | 固 | 307692 | 片 | 10000 | 原料仓库 | 扩散 |
| 14 | 异丙醇 | 15kg/瓶 | 浓度99.8% | 液 | 9231 | KG | 300 | 化学品仓库 | 清洗 |
| 15 | 液氧 | 0.5m³/瓶 | 浓度99.99% | 液 | 23 | m³ | 3 | 指定区 | 扩散/钝化 |
| 16 | 液氮 | 30m³/罐 | 浓度99.99% | 液 | 231 | m³ | 30 | 指定区 | 扩散/钝化 |
| 17 | 乙二醇乙醚 | 4L/瓶 | 浓度99% | 液 | 254 | L | 80 | 化学品仓库 | 涂硼 |
| 18 | 哈磨粉 | 5LB/瓶 | 纯碱、三聚磷酸钠 | 固 | 769 | LB | 100 | 化学品仓库 | 清洗 |
| 19 | 氯铂酸 | 1g/瓶 | 37% | 固 | 1385 | g | 100 | 化学品仓库 | 铂扩散 |
| 20 | 硝酸铝 | 500g/瓶 | / | 固 | 3846 | g | 500 | 化学品仓库 | 硼扩散 |
| 21 | 氨水 | 4L/瓶 | 26% | 液 | 1538 | L | 320 | 化学品仓库 | 清洗 |
| 22 | 铝源 | 500g/瓶 | 99.999% | 固 | 16154 | g | 5000 | 原料仓库 | 蒸发 |
| 23 | 钛源 | 500g/瓶 | 99.995% | 固 | 1154 | g | 5000 | 原料仓库 | 蒸发 |
| 24 | 银源 | 500g/瓶 | 99.99% | 固 | 8462 | g | 5000 | 原料仓库 | 蒸发 |
| 25 | 无水乙醇 | 4L/瓶 | / | 液 | 77 | L | 20 | 化学品仓库 | 清洁 |
3. 主要环境影响和保护措施
项目主要环境影响包括废气、废水、噪声和固体废物等，将采取相应的治理和防范措施，确保污染物达标排放，满足环保要求。
