年产50万片功率半导体芯片项目主要污染物及产污环节分析
[环境影响评价报告 - 资料分享]
发表于：2025-08-01 14:36:55
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前言
本文详细分析了功率半导体芯片项目的主要污染物及其产生环节，包括废气、废水和固体废物等，并提供了相关表格数据。
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1. 主要污染物及产污环节分析
1.1 废气污染物及产污环节
本项目产生的废气主要分为有机废气、酸碱废气和吹砂粉尘，此外还有污水处理恶臭和食堂新增油烟。
| 废气类型 | 主要污染物 | 产污环节 | 治理措施 |
|---|---|---|---|
| 有机废气 | 非甲烷总烃、二甲苯等 | 芯片生产各工序（如光刻、腐蚀等）、食堂油烟 | 依托现有二级活性炭吸附装置处理 |
| 酸碱废气 | 氯化氢、氟化物、硫酸雾、氮氧化物等 | 芯片生产中的清洗、腐蚀等工序 | 碱液喷淋塔处理 |
| 吹砂粉尘 | 颗粒物 | 吹砂工序 | 设备自带布袋除尘器处理 |
| 污水处理恶臭 | 氨、硫化氢 | 污水处理站 | 加盖密闭，空气扩散稀释 |
1.2 废水污染物及产污环节
本项目废水主要为生产废水、食堂废水和员工生活污水、初期雨水。
| 废水类型 | 主要污染物 | 产污环节 | 治理措施 |
|---|---|---|---|
| 生产废水 | pH值、COD、BOD₅、SS、氨氮、总磷、阴离子表面活性剂、氟化物等 | 芯片生产各工序（如清洗、腐蚀等） | 厂区污水处理站（中和+沉淀工艺）处理后排入园区污水管网 |
| 食堂废水 | COD、BOD₅、SS、氨氮、动植物油等 | 食堂烹饪、清洗等 | 隔油池+化粪池处理 |
| 生活污水 | COD、BOD₅、SS、氨氮等 | 员工日常生活 | 化粪池处理 |
| 初期雨水 | SS等 | 项目初期雨水 | 初期雨水池收集后进入厂区污水处理站处理 |
1.3 固体废物及产污环节
本项目产生的主要固体废物包括工艺过程中产生的废酸、废碱、废有机溶剂等危险废物，以及纯水装置产生的废过滤材料、制氮系统产生的废滤材和废分子筛等一般固体废物。
| 固体废物类型 | 主要成分 | 产污环节 | 处置方式 |
|---|---|---|---|
| 危险废物 | 废酸、废碱、废有机溶剂等 | 芯片生产各工序（如清洗、腐蚀等） | 暂存于危险废物暂存间，定期交由相应资质单位处置 |
| 一般固体废物 | 废过滤材料、废滤材、废分子筛等 | 纯水制备、制氮系统等 | 暂存于一般固体废物暂存间，外售综合利用或厂家回收 |
| 生活垃圾 | / | 员工日常生活 | 环卫部门统一清运 |
