VAD工艺生产红外低羟基高纯石英玻璃项目工程方案
[环境影响评价报告 - 资料分享]
发表于：2025-08-21 18:02:59
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前言
本文概述了红外低羟基高纯石英玻璃项目的工程方案、建设内容及项目组成，包括项目由来、工程规模、主要生产设备、产品方案及项目平面布置等。
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1. 项目由来
全球高端石英玻璃市场由海外企业占主导，国内高端合成石英玻璃不足，光刻机中核心部件以及激光发射器所需的高性能合成石英玻璃材料自给率相对较低，严重制约了我国半导体行业以及尖端国防技术的发展。因此实现红外低羟基高纯石英玻璃的大规模量产，不仅具有一般的商品经济价值，更重要的是具有保障芯片安全、光纤安全、光伏安全、高端器件安全的战略意义。
2. 工程规模
本项目不新增用地，总投资7000万元，项目主要对现有车间进行改造，建设1条红外低羟基高纯石英玻璃生产线及配套辅助设施。
3. 主要生产设备
扩建项目主要生产设备包括VAD沉积设备、真空烧结设备、脱烃炉、槽沉炉、供料系统、退火炉、尾气除尘塔、碱洗塔、四氯化硅储罐、纯水循环系统及碱液罐等。
4. 产品方案
项目建成后年产20吨红外低羟基高纯石英玻璃，用于半导体、光学、激光、航空航天以及新型电光源等高科技领域。
5. 项目组成
项目组成包括扩建的生产车间、新增的生产设备、配套的辅助设施以及环保工程等。
6. 表格内容
表1 建设项目组成一览表
| 序号 | 项目名称 | 产量 | 产品质量标准 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 红外低羟基高纯石英玻璃 | 20t/a | 《F-HUV6合成石英玻璃锭》（Q/FLH303-2022） | 用于半导体、光学、激光、航空航天以及新型电光源等高科技领域 |
表2 主要生产设备一览表
| 序号 | 设备名称 | 规格型号 | 数量 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | VAD沉积设备 | Φ460*2000mm YVA4020 | 3台 | 新增 |
| 2 | 真空烧结设备 | Φ460*2000mm YZK4020 | 1台 | 新增 |
| 3 | 脱烃炉 | Φ460*3000mm YVG4020 | 1台 | 新增 |
| 4 | 槽沉炉 | - | 1台 | 新增 |
| 5 | 供料系统 | - | 1台 | 新增 |
| 6 | 退火炉 | - | 1台 | 新增 |
| 7 | 尾气除尘塔 | - | 1台 | 新增 |
| 8 | 碱洗塔 | 3m³ | 1台 | 新增 |
| 9 | 四氯化硅储罐 | 3m³ | 3个 | 新增 |
| 10 | 纯水循环系统 | 160m³/h | 1台 | 新增 |
| 11 | 碱液罐 | 5m³ | 1台 | 新增 |
表3 全厂储罐设置情况表
| 分类 | 序号 | 名称 | 消耗量 | 最大暂存量 | 储存周期 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 原料控制指标 | 1 | 四氯化硅溶液 | 113.33t/a | 7t | 19d | 市场外购，罐车运输 |
| 2 | 氢气 | 66万Nm³/a | - | - | 来自安道麦股份有限公司，管道输送，浓度大于99.5% | |
| 3 | 氧气 | 34万Nm³/a | - | - | 来自现有厂区空分站，管道运输，浓度大于99.5% | |
| 4 | 氮气 | 16.5万Nm³/a | - | - | 浓度大于99.999% | |
| 5 | 氦气 | 1300Nm³/a | - | - | 市场外购，50L钢瓶装，浓度大于99.999% | |
| 6 | 氩气 | 37000Nm³/a | - | - | 市场外购，50L钢瓶装，浓度大于99.999% | |
| 7 | 氯气 | 3.47t/a | 100kg | 9d | 市场外购，100kg钢瓶装，浓度大于99.9999% | |
| 8 | 氢氧化钠 | 345.53t/a | 4.4t | 4d | 市场外购，质量浓度32% |
