精密设备能力提升项目主要原材料与辅料及物料平衡分析
[环境影响评价报告 - 资料分享]
发表于：2025-07-07 10:52:09
收藏
前言
本文概述了项目所需的主要原材料与辅料，并详细展示了物料平衡表，包括输入输出物质的种类与数量，为项目环境影响评估提供了重要数据支持。
详情
1. 主要原材料与辅料
本项目所需的主要原材料与辅料如下表所示：
| 名称 | 单位 | 年用量 | 备注 |
|---|---|---|---|
| 精密MCVD设备 | 台 | 新增3套 | |
| 四氯化硅 | kg | 43200 | 原料 |
| 氧气 | m³ | 24000 | 原料 |
| 氦气 | m³ | 18000 | 原料 |
| 氢气 | m³ | 12000 | 原料 |
| 氯气 | m³ | 1200 | 原料 |
| 四氟化碳 | kg | 200 | 原料 |
| 氘气 | m³ | 240 | 原料 |
| 氙气 | m³ | 240 | 原料 |
| 氟化氢铵 | kg | 300 | 原料 |
| 无水乙醇 | kg | 360 | 原料 |
| 丙酮 | kg | 39 | 原料 |
| 去离子水 | m³ | 480 | 原料 |
| 高纯氩气 | m³ | 3600 | 工艺气体 |
| 高纯氮气 | m³ | 14400 | 工艺气体 |
| 硼酸三异丙酯 | kg | 300 | 辅料 |
| 无水乙醚 | kg | 300 | 辅料 |
| 异丙醇 | kg | 600 | 辅料 |
| 高纯氧气 | m³ | 3600 | 辅料 |
2. 物料平衡表
物料平衡表详细展示了项目中各元素的投入与产出情况，具体如下表所示：
| 元素平衡表 | 投入产出物质 | 用量（kg） | 氯元素含量（kg） | 类别 | 物质 | 氯元素含量（kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 氯元素平衡 | 四氯化硅 | 43200 | 34560 | 投入 | 废气（氯气） | 1200 |
| 氯气 | 3456 | 3456 | 产出 | 废水 | 160 | |
| 氟元素平衡 | 四氟化碳 | 800 | 800 | 投入 | 废气（氟化物） | 10 |
| 氟化氢铵 | 1200 | 480 | 产出 | 废水 | 870 |
